- 两种碳基薄膜材料的CVD生长及其性质研究
- 类金刚石薄膜是一种在很多性质上接近金刚石的非晶材料,特别是具有在红外甚至部分可见光区透明的特点,所以它可以用来作为光学玻璃上的保护和消反射涂层.为了实现这个应用,我们利用热丝化学气相沉积法研究了类金刚石薄膜在熔融石英衬底上的沉积过程及其光学性质.SiCN薄膜也是一种碳基材料,在力学、光学、场发射等方面表现出优良性质,使得它在平板显示、太阳能电池和高硬度薄膜材料等方面具有很好的应用前景.我们首次使用....
- 作者：牛晓滨专业：凝聚态物理分类号：TB383;O484导师：方容川;廖源单位：中国科学技术大学
- IT用薄膜电感器的设计与制备研究
- 目前IT系统向高集成度、高频宽带化方向发展,要求在更小的基片上集成更多的元器件,这除了依靠高密度集成技术的发展外,从器件本身出发,只有研制小型化、薄膜化的器件,以减小系统的整体体积、重量,才能达到减小功率损耗、提高信号传输效率的要求.而作为磁性元器件中最重要的电感,它不仅在LC滤波电路、扼流圈中必不可少,在现代射频通信电路中也被广泛使用,特别是能与硅器件一起集成的薄膜电感器,在国际上备受重视,而国....
- 作者：唐晓莉专业：材料物理与化学分类号：TM55;TM271.2导师：张怀武单位：电子科技大学
- 巨磁阻锰氧化物体材料及其薄膜的微结构研究
- 掺杂钙钛矿锰氧化物是一种新兴的功能材料,在施加适当的磁场下,所产生的磁电阻远大于常用坡莫合金的磁电阻,所以又称之为巨磁电阻材料。巨磁电阻材料在信息存储领域具有广阔的应用前景,因此成为近年来的研究热点之一。在研究巨磁电阻效应的机制和实用化方面,巨磁电阻薄膜材料具有独特的优势。薄膜的合成条件决定了薄膜的微观结构,进而影响材料的磁电学性能。深入系统地研究这种氧化物及其薄膜材料的微观结构,有助于理解巨磁电阻效应的机制,为材料的实用化奠定理论依据。
- 作者：王明光专业：材料物理化学分类号：TG146;O484.1导师：叶恒强单位：中国科学院金属研究所
- 计算机编程控制HFCVD系统与金刚石薄膜及相关材料生长的研究
- 为了提高金刚石薄膜的质量和生长速率,该论文结合气相化学和表面化学模拟以及原位光发射谱诊断,把金刚石生长的传统C/H体系扩展到N/C/H体系,详细研究了生长气氛中加氮对金刚石的影响,并探讨了HFCVD系统中传热与传质的机制和光发射谱反馈控制途径.并利用此HFCVD系统,在Si/C/N/H体系中成功地制备出了一种性能与金刚石同样优异的SiCN薄膜材料,以及SiCN/金刚石和金刚石/金刚石多层膜.
- 作者：常超专业：凝聚态物理分类号：O484.1;TB383导师：方容川单位：中国科学技术大学
- 碳化硅薄膜材料及其在高温传感器件中的应用
- 该论文研究了利用直流磁控溅射法在硅和SOI上制备碳化硅薄膜的工艺,研究了各种沉积参数对薄膜质量的影响,包括组分、结晶质量、表面形貌等.
- 作者：雷永明专业：微电子与固体电子学分类号：O484导师：邹世昌;俞跃辉单位：中国科学院上海冶金研究所
- 具有有机无机复合结构的氢化非晶碳化硅薄膜的发光性质研究
- 该论文采用C<,8>H<,10>作为C源,在PECVD系统中制备了具有有机无机复合结构的a-SiC:H薄膜材料.对这种复合结构材料的微结构特性、有机--无机复合的光致发光和电致发光特性进行了系统的研究.主要内容包括:1.通过红外光谱、X射线光电子谱等方法,详细的分析了用C<,8>H<,10>制备的a-SiC:H材料的结构.2.在室温下研究人员观察到了用C<,8>H<,10>制备的a-SiC:H薄膜....
- 作者：马天夫专业：凝聚态物理分类号：O4;TB32导师：陈坤基单位：南京大学
- 碳基非晶薄膜材料的制备、光学性质与场发射的研究
- 氢等离子体表面处理在制备器件级非晶体半导体薄膜材料方面已被证明是一种行之有效的方法.它可以驰豫薄膜结构，提高光电导率及材料的稳定性.该文将氢等离子体化学退火技术应用于非晶碳膜的制备中，系统了研究了氢等离子体化学退火条件对非晶碳膜的结构、发光性质以及场发射特性的影响.同时，为了提高发光效率，利用有机碳源代替甲烷（CH<,4>）制备出了具有聚合物结构的碳化硅薄膜，设计并获得了基于这种材料的电致发光二级管原型器件，在室温下观察到了较强的电致可见光发射，并对其中的发光机制作了探讨.
- 作者：黄晓辉专业：物理系微电子学与固体电子学分类号：O484导师：徐骏单位：南京大学
- Bi-Te体系热电材料的研究与制备
- 热电材料是一种具有热电效应的功能材料,可以进行热能和电能的直接转换.近10年来,由于环境保护和军事应用的需要,热电材料的研究引起人们极大的关注.目前热电材料存在的主要问题就是转化效率低,即优值系数不够高.为了改变这一现状,各国科学家的努力从来没有间断过.近年来,人们将纳米技术应用于热电材料,通过降低材料的维数提高材料的热电优值.尤其是上世纪90年代初期美国的科学家的理论研究结果发现,具有量子阱结构....
- 作者：张丽丽专业：材料学分类号：TN304.9导师：徐桂英单位：北京科技大学
- 氯化钾晶体防潮阻反膜及相关新型薄膜材料研究
- 为解决KCl晶体在高功能CO<,2>激光器上应用的要求,成功地设计和制备了KCl∥NaF,KCl∥NaF/DLC,和KCl∥ZnSe/PbF<,2>防潮阻反膜系.同时对新型薄膜材料氮化硼薄膜和碳氮薄膜的制备进行了有益的尝试.采用直流等离子体喷射和磁控溅射法分别制备出了非晶态的氮化硼薄膜和非晶碳氮膜,并为进一步开展研究提出了建议.
- 作者：程德刚专业：材料科学与工程分类号：TB383;TN304.055导师：吕反修单位：北京科技大学
- 柔性衬底上非晶硅薄膜太阳电池的材料研究
- 该文主要是对柔性衬底上太阳电池的材料进行了研究.我们在原有玻璃衬底的PECVD工艺基础上,对设备进行改进,使其适合于柔性衬底上的薄膜淀积;并且我们作了大量的实验,探索柔性衬底上淀积薄膜材料的工艺参数.最后我们在柔性衬底上制备出了理想的薄膜材料.具体的工作可以概括为:1)选择合适的柔性衬底,并对柔性衬底进行织构化处理,增加衬底上的陷光结构.2)在柔性衬底上淀积本征a-Si:H薄膜材料,并研究了衬底温....
- 作者：张延生专业：微电子学与固体电子学分类号：TM914.42导师：张存善;张德贤单位：河北工业大学
- 预测控制的线性方法、非线性方法和神经网络方
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