- 低温等离子体应用中的理论和实验研究
- 由于可以从大气压到10<'-6>Torr很宽的范围内产生低温等离子体,不同气压下和不同方法产生的等离子体性质有很大的差异,这也使低温等离子体的应用范围非常广泛.从最常见的电光源到工业中的机械加工、冶金、化工、材料合成,以及最重要的应用,包括半导体工业中的微电子学加工和其他金属与非金属材料的加工,诸如等离子体蚀刻、掺杂、离子注入和薄膜沉积等材料表面改性.低温等离子体在人们生活中起着越来越重要的作用.
- 作者：唐德礼专业：核能科学与工程分类号：I539导师：邱孝明;朱剑豪单位：核工业西南物理研究院
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