- ZrO<,2>(3Y)和Al<,2>O<,3>+ZrO<,2>(3Y)纳米微粉的退火与烧结研究
- 该论文采用等离子体化学方法制备出ZrO<,2>(3Y)和Al<,2>O<,3>+ZrO<,2>(3Y)纳米微粉,并对这三种纳米微粉进行低温退火与常规烧结的研究.研究结果表明,等离了体所制备的纳米微粉具有尺寸小、晶格畸变度大、易聚集等特点.粉体聚集尺寸可达1~2um,但是其内部晶粒尺寸非常小,大约为25-35nm.所制备出的ZrO<,3>为均匀的单一的四方组.这为制备强度高韧性好的纳米陶瓷提供了先决条件.
- 作者：袁华军专业：凝聚态物理分类号：O614导师：韩炜单位：吉林大学
- 低温等离子体应用中的几个理论问题
- 低温等离子体在微电子、材料制备、环保、航空航天、军事等领域起着越来越重要的作用,而很多的理论问题有待人们去解决.该博士学位论文第一部分第一章介绍了低温等离子体的分类及几咱常规的工业应用;第二章简单介绍了它在环保和通信方面的一些作用;第三章对等离子体化学作了简单叙述;第四章叙述了低温等离子体在军事上的一具应用——等离子体隐形技术.第五章详细介绍了目前尘埃等离子体物理的研究现状.
- 作者：孙爱萍专业：核能科学与工程分类号：O53导师：邱孝明;耿漫单位：核工业西南物理研究院
- 新型超硬膜β-C<,3>N<,4>的制备与表征
- 该文通过大量探索性试验,研究了CH<,4>流量和衬底温度对碳氮薄膜成分和结构的影响,确定了制备C<,3>N<,4>薄膜的最优工艺条件.CH<,4>流量为1.0sccm,N<,2>流量为100sccm,反应气压为2660Pa,衬底温度为820℃,所制备的碳氮薄膜的N/C原子比接近C<,3>N<,4>的化学比.使用微波等离子体化学气相沉积系统在Si衬底上合成了晶态碳氮薄膜.SEM观察薄膜的形貌可知,薄....
- 作者：张永平专业：分类号：O484导师：肖纪美;常香荣单位：北京科技大学
- 微波等离子体化学气相合成氮化钛、氮化硅纳米粉体研究
- 该文对采用微波等离子体化学气相合成技术,利用TiCl<,4>（g）+N<,2>+H<,2>化学气相反应体系合成氮化钛纳米粉体材料以及利用TiCl<,4>（g）+N<,2>+NH<,3>化学气相反应体系合成氮化硅纳米粉体材料进行了研究.氮化硅是重要的高温结构材料,氮化硅陶瓷在高韧性、高温高强度、高硬度、耐磨蚀、密度低等方面,在高技术工程应用中均表现出显著的优良特性.但氮体钛和氮化硅这两种材料烧结性能....
- 作者：黄生乔专业：化学工艺分类号：O613.61导师：马兵单位：中国科学院过程工程研究所
- 微波等离子体化学气相沉积法低温合成纳米碳管
- 该论文充分利用微波等离子体化学气相沉积法低温合成材料的特点,在低温条件下制备了纳米碳管,获得了较好的工艺条件.研究发现,合理调节碳源流速,或针对纳米碳管的稳定性高于无定形碳的特点,选择合适的碳源,利用氧离子以及含氧基团的选择性刻蚀作用,加强等离子体对无定形碳的刻蚀,可以在低温条件下直接合成纯度较高的纳米碳管.研究结果表明,微波等离子体化学气相沉积法在纳米碳管的低温制备方面具有显著的优越性,这无疑会扩大纳米碳管的使用范围,对纳米碳管在场发射方面的应用起到极大的促进作用.
- 作者：王升高专业：核能科学与工程分类号：TB383导师：汪建华单位：中国科学院等离子体物理研究所
- PCVD等离子体化学气相沉积设备研制
- 该文系统阐述了PCVD设备的原理、结构、射频电源和模糊控制方法,叙述了PCVD等离子体化学气相淀积技术提出的根据和国内外的发展状况;说明了研制PCVD设备的必要性和重大意义.通过比较选用了平行板电容耦合型PCVD装置并阐述了PCVD装置的真空系统、进气系统、排气系统及加热装置.该文重点阐述了2-6KW、1-2MHz射频电源的原理、硬件电路及设计过程.其次给出了控制系统的信号测量放大电路、多功能数据....
- 作者：罗彦芳专业：电力电子及电力传动分类号：TQ052导师：安德祥单位：山东大学
- 高频等离子体化学气相淀积法TiO<,2>超细粉的制备及实验装置研究
- 该文根据热力学和动力学分析,以TiCL<,2>+O<,2>为体系,使用高频等离子体化学气相淀积法;制备TiO<,2>超细粉的成核温度范围为1500~1836K .
- 作者：林富荣专业：化学工程与技术分类号：TB383导师：孙彦平单位：太原理工大学
- 真空阴极电弧及等离子体化学气相法沉积类金刚石碳膜的研究
- 目的：用真空阴极电弧(VAC)法和等离子体化学气相(PCVD)沉积法制备了类金刚石碳(DLC)膜,研究了通过不同制备方法和工艺参数制备DLC膜的表面形貌、结构和硬度.采用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面形貌进行了观察;采用X射线衍射(XRD)、激光拉曼光谱(Raman)对DLC膜结构进行了检测,用光电子能谱(XPS)对薄膜SP<'3>和SP<'2>含量进行了测试;采用了纳米硬....
- 作者：李敬财专业：材料加工工程分类号：TQ342.742导师：胡社军;何玉定单位：广东工业大学
- 热阴极辉光放电及其等离子体化学气相沉积金刚石膜研究
- 热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积是我们建立的快速沉积高品质金刚石膜的新方法.该文从阴极、辉光放电等离子体等角度研究热阴极辉光放电的工作特性,并系统研究放电工作特性与金刚石膜沉积工艺的关系,进而指导制备工艺的优化.阴极的材料、工作温度、表面状态、与阳极间的尺寸位置配置关系等,均对大电流、高气压的热阴极辉光放电稳定工作产生重要影响.热阴极辉光放电的阴极位降区、正光柱等离子体区、阳极位降区等放电区域,....
- 作者：白亦真专业：凝聚态物理分类号：TN304.18导师：金曾孙单位：吉林大学
- 新型线型同轴耦合微波等离子体化学气相沉积设备的研制
- 该文设计并研制了国内第一台1.6kW级的线型同轴耦合的微波等离子体化学气相沉积装置.这一装置的原理是基于同轴微波天线激发条件下表面波的传播,它导致产生的等离子体将具有其分布不易受到金属衬底影响的特性.该文较详尽地讨论了所研制的新型线型同轴耦合微波等离子体化学气相沉积装置的工作原理和设计思路.设备采用的谐振腔设计保证了等离子体柱的均匀分布,使其在轴线方向上形成线型扩展,不会受到谐振腔内导体衬底位置的....
- 作者：陈利民专业：材料学分类号：O484.1导师：唐伟忠单位：北京科技大学
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