高速沉积稳定氢化非晶硅薄膜与非晶硅太阳电池陷光结构的计算机模型
要提高非晶硅太阳电池的普及率,我们必须降低非晶硅太阳电池的生产成本,提高非晶硅太阳电池的稳定效率,基于这两个目的,作者开展了以下的工作.一、高速生长稳定的非晶硅材料.我们首先对等离子体辉光放电法的各个沉积条件对薄膜的生长速率和稳定性的影响进行了理论分析,然后制订出一个可行的方案.通过对等离子体辉光光谱的监测和分析,我们证实了随着工作气压的增大,电子的温度也随之下降.并且发现在低气压底下,增加功率对....
作者:麦耀华专业:微电子学与固体电子学分类号:TN36;TM914导师:耿新华单位:南开大学
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