具有有机无机复合结构的氢化非晶碳化硅薄膜的发光性质研究
该论文采用C<,8>H<,10>作为C源,在PECVD系统中制备了具有有机无机复合结构的a-SiC:H薄膜材料.对这种复合结构材料的微结构特性、有机--无机复合的光致发光和电致发光特性进行了系统的研究.主要内容包括:1.通过红外光谱、X射线光电子谱等方法,详细的分析了用C<,8>H<,10>制备的a-SiC:H材料的结构.2.在室温下研究人员观察到了用C<,8>H<,10>制备的a-SiC:H薄膜....
作者:马天夫专业:凝聚态物理分类号:O4;TB32导师:陈坤基单位:南京大学
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