[TiMing]：FeiJingGuiBaoMoTaiYangDianChiDeYanJiu
[作者]：郝国强[ZuoZhe]：HaoGuoQiang[专业]：微电子学与固体电子学[ZhuanYe]：WeiDianZiXueYuGuTiDianZiXue
[导师]：张存善;张德贤[DaoShi]：ZhangCunShan;ZhangDeXian[学位]：硕士[XueWei]：ShuoShi
[单位]：河北工业大学[DanWei]：HeBeiGongYeDaXue
[关键词]：太阳电池;非晶硅;微晶硅;一致性;玻璃衬底;沉积
[时间]：20030301[页数]：45页[点击]：20042[分类号]：TM914.42;TM910.5[语种]：中文文摘[来源]： 毕业论文
[文摘]：该文主要利用分离室PECVD系统在玻璃衬底上沉积pin结构太阳电池,主要工作可总结如下:1)p层微晶结构的沉积;用μc-Si:H与传统所用的a-SiC:H分别做电池的p层,比较了二者的I-V特性,发现μc-Si:H作为电池的P层有更大的优越性.2、i层材料的沉积及i层的厚度对电池性能参数J<,sc>,V<,oc>,FF,η的影响.3)非晶硅太阳电池一致性及稳定性的研究.主要讨论了i层厚度及P层微晶对电池一致性的影响和i层厚度对稳定性的影响.4)玻璃衬底上倒向结构nip电池的沉积.
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