[TiMing]：DiWenDengLiZiTiYingYongZhongDeLiLunHeShiYanYanJiu
[作者]：唐德礼[ZuoZhe]：TangDeLi[专业]：核能科学与工程[ZhuanYe]：HeNengKeXueYuGongCheng
[导师]：邱孝明;朱剑豪[DaoShi]：QiuXiaoMing;ZhuJianHao[学位]：博士[XueWei]：BoShi
[单位]：核工业西南物理研究院[DanWei]：HeGongYeXiNanWuLiYanJiuYuan
[关键词]：低温等离子体;电磁波;菲涅尔反射系酸法;离子注入;偏压阳极栅;射频放电;电感耦合
[时间]：20030401[页数]：116页[点击]：20042[分类号]：I539[语种]：中文文摘[来源]： 毕业论文
[文摘]：Torr很宽的范围内产生低温等离子体,不同气压下和不同方法产生的等离子体性质有很大的差异,这也使低温等离子体的应用范围非常广泛.从最常见的电光源到工业中的机械加工、冶金、化工、材料合成,以及最重要的应用,包括半导体工业中的微电子学加工和其他金属与非金属材料的加工,诸如等离子体蚀刻、掺杂、离子注入和薄膜沉积等材料表面改性.低温等离子体在人们生活中起着越来越重要的作用.'>由于可以从大气压到10<'-6>Torr很宽的范围内产生低温等离子体,不同气压下和不同方法产生的等离子体性质有很大的差异,这也使低温等离子体的应用范围非常广泛.从最常见的电光源到工业中的机械加工、冶金、化工、材料合成,以及最重要的应用,包括半导体工业中的微电子学加工和其他金属与非金属材料的加工,诸如等离子体蚀刻、掺杂、离子注入和薄膜沉积等材料表面改性.低温等离子体在人们生活中起着越来越重要的作用.
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