[TiMing]：CVDFaNaMiGuiXiFuHeBaoMoDeWeiJieGou、XingNengJiXinXingWuGuangWuRanJieNengDuMoBoLiDeYanJiu
[作者]：刘锋[ZuoZhe]：LiuFeng[专业]：材料学[ZhuanYe]：CaiLiaoXue
[导师]：韩高荣[DaoShi]：HanGaoRong[学位]：硕士[XueWei]：ShuoShi
[单位]：浙江大学[DanWei]：ZheJiangDaXue
[关键词]：纳米复合薄膜;退火处理;微结构;光致发光;梯度化;减反射
[时间]：20020201[页数]：83页[点击]：20042[分类号]：TN304.055;TB383[语种]：中文文摘[来源]： 毕业论文
[文摘]：该论文全面介绍了纳米材料,特别是纳米镶嵌复合材料的发展概况、特性、常用的制备方法、常见的几中硅系纳米材料以及有关纳米硅材料的发光,并对新型无光污染节能镀膜玻璃的研制和发展作了概述.以硅烷和乙烯为原料气采用常压化学气相沉积制备得到Si/SiC复合薄膜,并使用退火处理方法对该薄膜进行后处理,最终得到Si/SiC/SiO<,2>纳米镶嵌复合薄膜.利用HREM作为测试手段,系统地研究了退火处理工艺与薄膜微结构的关系,并分析了微结构的成因.在500℃退火一个小时的薄膜中发现了一种很特殊的结构——纳米硅线,该种结构的产生可以用金属诱导的机理来解释.对复合薄膜的光学性能作了系统研究.首次提出利用退火处理同时实现复合薄膜的梯度化的微结构改性,从而减小镀膜玻璃的反射率并获得无光污染的新型节能镀膜玻璃.
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