[TiMing]：WeiBoDengLiZiTiCVDFaZhiBeiJinGangShiMoDeYanJiu
[作者]：舒兴胜[ZuoZhe]：ShuXingSheng[专业]：等离子体物理[ZhuanYe]：DengLiZiTiWuLi
[导师]：梁荣庆;邬钦崇[DaoShi]：LiangRongQing;ZuoQinChong[学位]：博士[XueWei]：BoShi
[单位]：中国科学院等离子体物理研究所[DanWei]：ZhongGuoKeXueYuanDengLiZiTiWuLiYanJiuSuo
[关键词]：微波等离子体;MWPCVD;金刚石膜;平稳微波;脉动微波
[时间]：20020901[页数]：149页[点击]：20042[分类号]：O635.1;O646.9[语种]：中文文摘[来源]： 毕业论文
[文摘]：微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)是一种新的薄膜制备方法,该文在自行研制的水冷反应室式MWPCVD装置中用这种方法进行制备金刚石膜的工艺研究.首先详细解释了水冷反应室式MWPCVD装置的工作原理、结构和特点,并着重阐述了为该装置配套的新型微波功率源的原理设计,采用高压开关电源与普通不可控高压整流电源串联的独特方式为磁控管提供阴极负高压,并对阳极电流进行反馈控制,从而建立起高精度、大功率、快响应、抗干扰的压控微波功率源,满足沉积金刚石膜的需要.对MWPCVD金刚石膜进行了透光性研究,得出如下结论:1)用MWPCVD法可制备出红外透明金刚石薄膜和金刚石自持膜;2)脉动微波有利于沉积透射率较大的金刚石膜薄膜和透射率较大、透光性较好的金刚石自持膜;3)在脉动微波下可制备出可见光区半透明金刚石自持膜.
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