[TiMing]：XinXingXianXingTongZhouZuoHeWeiBoDengLiZiTiHuaXueQiXiangChenJiSheBeiDeYanZhi
[作者]：陈利民[ZuoZhe]：ChenLiMin[专业]：材料学[ZhuanYe]：CaiLiaoXue
[导师]：唐伟忠[DaoShi]：TangWeiZhong[学位]：硕士[XueWei]：ShuoShi
[单位]：北京科技大学[DanWei]：BeiJingKeJiDaXue
[关键词]：线型微波;化学气相沉积;金刚石薄膜;薄膜材料;同轴耦合;等离子体柱;等离子体化学气相沉积
[时间]：20010224[页数]：54页[点击]：20042[分类号]：O484.1[语种]：中文文摘[来源]： 毕业论文
[文摘]：该文设计并研制了国内第一台1.6kW级的线型同轴耦合的微波等离子体化学气相沉积装置.这一装置的原理是基于同轴微波天线激发条件下表面波的传播,它导致产生的等离子体将具有其分布不易受到金属衬底影响的特性.该文较详尽地讨论了所研制的新型线型同轴耦合微波等离子体化学气相沉积装置的工作原理和设计思路.设备采用的谐振腔设计保证了等离子体柱的均匀分布,使其在轴线方向上形成线型扩展,不会受到谐振腔内导体衬底位置的干扰,因而适用于需要对金属类衬底进行金刚石薄膜涂层的应用场合.由于受到磁控管功率的限制,所研制的线型同轴耦合微波等离子体化学气相沉积装置尚存在等离子体密度偏低的问题.为此,探索了在微波天线石英管外加装铜管和在石英管表面涂覆铜膜两种方法,有效地提高了局部区域的微波功率密度和等离子体密度.在此基础上,进行了在Mo丝衬底上沉积金刚石薄膜的初步实验.实验的结果表明,利用线型同轴耦合微波等离子体化学气相沉积装置可沉积出晶体形貌良好的晶体薄膜,但涂层中存在着Si的污染.研究结果表明,所研制的新型线型同轴耦合微波等离子体化学气相沉积装置基本达到了设计要求,它的研制为进一步开展金刚石薄膜化学气相沉积技术提供了一种新的技术手段.
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