[TiMing]：WeiJingGuiBaoMoDeJieGouHeDianXueXingZhiDeYanJiu
[作者]：曹燕[ZuoZhe]：CaoYan[专业]：凝聚态物理[ZhuanYe]：NingJuTaiWuLi
[导师]：朱美芳[DaoShi]：ZhuMeiFang[学位]：硕士[XueWei]：ShuoShi
[单位]：中国科学技术大学[DanWei]：ZhongGuoKeXueJiShuDaXue
[关键词]：微晶硅薄膜;热丝法;制备;微结构;光电性质
[时间]：19990701[页数]：54页[点击]：20042[分类号]：TN304[语种]：中文文摘[来源]： 毕业论文
[文摘]：微晶硅薄膜(μc-Si:H)由于具有高电导率、较高迁移率、可大面积低成制本制备的优点,而在信息显示、大阳能电池等技术领域有广泛的应用.该论文采用热丝法制备优质稳定的微晶硅薄膜,并对其策结构与光电性质进行了深入的研究,同时解释了相关实验结果.
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