[TiMing]：JinGangShiBaoMoHeFeiJingTanFuHeBaoMoDeChangZhiDianZiFaSheTeXingYanJiu
[作者]：李运钧[ZuoZhe]：LiYunJun[专业]：光学[ZhuanYe]：GuangXue
[导师]：龚知本;张兵临[DaoShi]：GongZhiBen;ZhangBingLin[学位]：博士[XueWei]：BoShi
[单位]：中国科学院安徽光学精密机械研究所[DanWei]：ZhongGuoKeXueYuanAnHuiGuangXueJingMiJiXieYanJiuSuo
[关键词]：金刚石薄膜;场致电子发射;非晶碳薄膜;脉冲激光沉积
[时间]：19980601[页数]：102页[点击]：20042[分类号]：TN304.18;TN451[语种]：中文文摘[来源]： 毕业论文
[文摘]：该文通过对不同条件下制备的金刚石薄膜的场致电子发射的研究,找出适合场致电子发射的薄膜微结构和表面形貌,并从实验结果总结出较合理的场电子发射模型.在实验的基础上,作同工艺简单的场发射器件,分析这些器件在一些重要领域内得到实际应用的可能性.采用微波等离子体增强化学气相沉积技术在金属钼衬底上制备出金刚石薄膜阴极,用大面积金属平面阳极和透明阳极测试方法,研究薄膜的场电子发射特性.
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