[题名]：掺铒硅基薄膜的纳米结构与发光动力学研究
[TiMing]：ChanZuoGuiJiBaoMoDeNaMiJieGouYuFaGuangDongLiXueYanJiu
[作者]：肖志松[ZuoZhe]：XiaoZhiSong[专业]：凝聚态物理[ZhuanYe]：NingJuTaiWuLi
[导师]：张通和[DaoShi]：ZhangTongHe[学位]：博士[XueWei]：BoShi
[单位]：北京师范大学[DanWei]：BeiJingShiFanDaXue
[关键词]：掺铒硅薄膜;纳米结构;发光动力学;MEVVA离子源;离子注入;纳米硅;发致发光
[时间]：20010515[页数]：121页[点击]：20041[分类号]：O493[语种]：中文文摘[来源]： 毕业论文
[文摘]：该文首次采用MEVVA离子源强束流离子注入的方法制备了高浓度掺Er单晶硅和纳米硅镶嵌热氧化硅薄膜,研究了两种薄膜的浓度分布、化学态、表面形貌、显微结构与物相,纳米硅在硅基薄膜中的形成过程,低温及室温下1.54μm附近的光致发光和发光动力学机制.
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